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XTC/3 薄膜沉积控制器

XTC/3 薄膜沉积控制器

  • 所属分类:薄膜沉积和电子枪控制装置

  • 点击次数:
  • 发布日期:2018/01/04
  • 在线询价
详细介绍

XTC/3 薄膜沉积控制器

技术先进,经济实惠,可对单层或多层薄膜进行速率控制

XTC 3膜厚控制仪.jpg
立即了解用于单层和多层过程的薄膜沉积控制器的详细信息。XTC/3 带有专利 ModeLock,提供跳模预防功能,确保获得始终如一的质量。使用 XTC/3 薄膜沉积控制器,您可以高度精确地控制沉积速率和厚度,获得几乎适用于所有层的容量,而且控制器安装简便,具有极高可靠性,可确保高生产力。

INFICON 是薄膜沉积控制领域的全球领导者,现在提供的这款仪器具有极低的拥有成本,可为客户带来空前的价值。

无论您需要的是生产、研发还是开发方面的控制,您都将发现 INFICON XTC/3 能够完美满足您的需求。

全球 INFICON 支持

无论您身在何处,都可获得快速回复、贴心服务以及最长运行时间。INFICON 是唯一一家在全球设有本地服务与技术支持中心的薄膜沉积控制器制造商,其办事处遍布全球。

功能

  • 提供有单层和多层型号

  • 专利 ModeLock 技术可避免跳模引起的薄膜厚度误差

  • 支持 Crystal 12®、Crystal Six® 和双传感器自动晶体转换,从而最大化生产力

  • XTC/3M 多层型号最多支持 99 个过程、999 层薄膜、32 种薄膜材料、2 个传感器和两种源

  • XTC/3S 单层型号最多支持 9 种薄膜、2 个传感器和两种源

  • 易于阅读的 TFT LCD 图形显示器

  • 可以为薄膜和过程分配唯一的描述性名称,以便于检索

  • 提供以太网连接

  • 独立式(不需要计算机)或便于 PC 操作的可选 Windows® 软件

  • 插拔式替换 INFICON XTC/2 控制器(受限于 XTC/2 功能和命令集)

典型应用

  • 高端光学镀膜

新闻

XTC/3 前面板已根据 INFICON
公司的新标准进行重新设计。

XTC/3M 是第一款带有此新设计的薄膜产品并
已装配在当前销售的新产品中。配备新前面板的
XTC/3S 将会在 2013 年末开始销售。其他薄膜产品的前面板更新
将会在 2014 和 2015 年进行。

规格

类型XTC3/SXTC3/M
频率分辨率
±0.028 Hz @ 6 MHz
±0.028 Hz @ 6 MHz
测量频率范围
6.0 to 5.0 MHz (fixed)6.0 to 5.0 MHz (fixed)
测量周期
0.25 seconds0.25 seconds
厚度和速率分辨率/测量 (1)
±0.034 ű0.034 Å
测量技术
ModeLockModeLock
过程数量
199
层数
1999
材料计划(或薄膜)数量
932
传感器输入数量
22
CrystalSix / Crystal 12 传感器支持
YesYes
支持 XTAL 2 开关
YesYes
来源输出数量
22
计算机通信
RS232 standard, Ethernet TCP/IP optionalRS232 standard, Ethernet TCP/IP optional
最大 RS232 波特率
115.2 KBaud115.2 KBaud
自动晶体转换
YesYes
继电器数量
12, Not Event Assignable12, Event Assignable
可编程继电器功能数量
11
每个继电器的功能
11
继电器额定电压
30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps
输入数量
8 TTL, 24VDC Max8 TTL, 24VDC Max
可编程输入功能数量
1, Not Event Assignable1, Event Assignable
记录器输出数量
11
手动电源 / 手持控制器
YesYes
排气管风扇
No Exhaust FanNo Exhaust Fan
测试模式
YesYes
闸门延迟
YesYes
二次成型模具
YesYes
外壳尺寸
half rack, 2U highhalf rack, 2U high
速率和厚度显示分辨率
0.1 A/s for 0.0 to 99.9 A/s, 1 A/s for 100 to 999 A/s, display thickness resolution = 1 A0.1 A/s for 0.0 to 99.9 A/s, 1 A/s for 100 to 999 A/s, display thickness resolution = 1 A
通过输入选择膜
YesNo
用户指南语言
English, ChineseEnglish, Chinese
控制环路
PIDPID
用于从 PC 操作的软件
YesYes
数据记录
YesYes
质量和稳定性功能
YesYes
采样保持 (RateWatcher™)
YesYes
坩埚选择
YesYes
坩埚反馈输入
YesYes
选择控制电压极性
Yes, +/- 2.5, 5, 10 Volts; 15-bit ResolutionYes, +/- 2.5, 5, 10 Volts; 15-bit Resolution
程序锁定码
YesYes
带图形的显示器
YesYes
用户标记过程(手机式字母数字输入)
NoNo
用户标记膜(手机式字母数字输入)
NoNo
传输传感器控制
YesYes
XTC/2 RS232 通信兼容性
Yes (limited)Yes (limited)

(1) 工具/密度 = 100/1,基础频率 = 6 兆赫兹

零件号

XTC3M-S_OrderChart_2013_web-01.png

附件

名称说明
前装式单传感器前装式单传感器
前装式双传感器前装式双传感器
炫酷抽屉单传感器炫酷抽屉单传感器
炫酷抽屉双传感器炫酷抽屉双传感器
UHV 可烘烤传感器UHV 可烘烤传感器
溅射传感器溅射传感器
CrystalSix 传感器CrystalSix 传感器
Crystal 12 传感器Crystal 12 传感器
RSH-600 旋转式传感器RSH-600 旋转式传感器
零件号明细
780-700-G1Ethernet Module, XTC/3
755-262-G1Handheld Power Controller
780-702-G1单件机架安装套件 – 提供将单台 XTC/3 安装到标准 19 in. 机架上需要的所有材料
780-702-G2两件机架安装套件 – 提供将两台 XTC/3 并排安装到标准 19 in. 机架上需要的所有材料
780-032-G1XTC/3M 或 XTC/3S 编辑器 / 监测器软件,位于 CD 上
780-038-G1XTC/3M 或 XTC/3S 通信库 (DLL),位于 CD 上
779-220-G1CrystalTwo 开关,15.2 cm (6 in.) BNC 电缆
779-220-G2CrystalTwo 开关,50.8 cm (20 in.) BNC 电缆
Oscillator kits(包括振荡器和电缆)
780-611-G30带 30 ft. (9.1 m) 电缆的XIU PKG – 与 XTC/3 结合使用
780-611-G50带 50 ft. (15.2 m) 电缆的XIU PKG – 与 XTC/3 结合使用
780-611-G100带 100 ft. (30.5 m) 电缆的XIU PKG – 与 XTC/3 结合使用
780-612-G15带 15 ft. (4.6 m) XIU 电缆的 4m XIU PKG – 包括 4 m 真空电缆和 6 in. BNC(XIU 至馈入件)电缆 – 与 XTC/3 结合使用
780-612-G30带 30 ft. (9.1 m) XIU 电缆的 4m XIU PKG – 包括 4 m 真空电缆和 6 in. BNC(XIU 至馈入件)电缆 – 与 XTC/3 结合使用
780-612-G50带 50 ft. (15.2 m) XIU 电缆的 4m XIU PKG – 包括 4 m 真空电缆和 6 in. BNC(XIU 至馈入件)电缆 – 与 XTC/3 结合使用
780-612-G100带 100 ft. (30.5 m) XIU 电缆的 4m XIU PKG – 包括 4 m 真空电缆和 6 in. BNC(XIU 至馈入件)电缆 – 与 XTC/3 结合使用
780-613-G15带 15 ft. (4.6 m) XIU 电缆的 4m XIU PKG – 包括 3.5 m 真空电缆和 20 in. BNC(XIU 至馈入件)电缆 – 与 XTC/3 结合使用
780-613-G30带 30 ft. (9.1 m) XIU 电缆的 4m XIU PKG – 包括 3.5 m 真空电缆和 20 in. BNC(XIU 至馈入件)电缆 – 与 XTC/3 结合使用
780-611-G15带 5 ft. (4.6 m) 电缆的XIU PKG – 与 XTC/3 结合使用
780-613-G50带 50 ft. (15.2 m) XIU 电缆的 4m XIU PKG – 包括 3.5 m 真空电缆和 20 in. BNC(XIU 至馈入件)电缆 – 与 XTC/3 结合使用
780-613-G100带 100 ft. (30.5 m) XIU 电缆的 4m XIU PKG – 包括 3.5 m 真空电缆和 20 in. BNC(XIU 至馈入件)电缆 – 与 XTC/3 结合使用
Oscillator Only(未随附电缆)
780-600-G1XTC/3 XIU(振荡器)- 用于长度为 6 in. 至 72 in.(15 cm 至 183 cm)的 XIU 至传感器头部电缆
780-600-G2XTC/3 XIU(振荡器)- 用于长度为 118 in. 至 157 in.(3 m 至 4 m)的 XIU 至传感器头部电缆
Cables
755-257-G615.2 厘米(6 英寸)BNC 电缆,XIU 至真空馈入件
600-1261-P154.6 米(15 英尺)电缆,Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU
600-1261-P309.1 米(30 英尺)电缆,Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU
600-1261-P5015.2 米(50 英尺)电缆,Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU
600-1261-P10030.5 米(100 英尺)电缆,Cygnus 2、IC6 或 XTC/3 控制器至 XIU

耗材

名称说明
石英监控器晶体石英监控器晶体


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