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干式氦气检漏仪 UL3000 Fab (PLUS)

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干式氦气检漏仪 UL3000 Fab (PLUS)

  • 所属分类:氦气真空检漏仪

  • 点击次数:
  • 发布日期:2018/01/03
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详细介绍

干式氦气检漏仪 UL3000 Fab (PLUS)


 

INFICON 氦气检漏仪 UL3000 Fab (PLUS) 设计用于满足半导体应用中的泄漏检测要求。

此款检漏仪具有灵活性、可移动性、高灵敏度和可靠性,能够快速启动并提供快速精确的测量结果。

 

快速获得结果
改进后的真空系统采用低维护真空泵设计,在大气压力下即可检测泄漏。耐用质谱系统确保了较长的运行时间和较低的维护成本。UL3000 Fab PLUS 中的 HYDRO-S 软件可消除系统中的水汽,使泄漏检测过程更加迅速。 

UL3000 Fab PLUS 采用成熟的嗅探器线路 SL3000(长度可达 10 m),嗅探能力得到进一步提升。

 

旋转式遥控显示器 
新型触摸屏显示器可远距离显示测量结果和状态信息。通过用户引导型菜单结构可轻松进行操作,即使缺乏经验的操作员也能胜任。可通过智能手机或平板电脑对 UL3000 Fab (PLUS) 进行无线控制 - 无需特殊软件或应用程序。按下按钮,即可将记录和存储的检测结果传输到其他存储介质中,以进行进一步分析。

 

纤薄设计,实现高度的可操作性 
低重心、大底轮、符合人体工程学设计的手柄和纤薄外壳,使得 UL3000 Fab (PLUS) 即使在狭小的空间内也能移动自如。

UL3000 Title image reduced for A4 transparency.png

功能

  • 可在大气压力下测量

  • 直观的用户指南与触摸屏显示器

  • 坚固耐用的真空系统,不易受灰尘和污染物影响

  • 转弯半径小,移动性能出色

  • 可使用智能手机通过网络浏览器进行操作

  • 维护要求低

  • 设备上已附带配件

典型应用

  • 在现有工具中安装前对部件执行检漏

  • 工艺气体系统的检查和安装

  • 使用 TC1000 测试盒执行密封组件的自动测试

  • 在对检测条件和清洁度要求严苛的环境中进行的泄漏检测

规格

类型Helium Leak Detector UL3000 Fab (PLUS)
氦气(真空模式)最低可检漏率mbar•L/s<5E-12
氦气(吸枪模式)最低可检漏率mbar•L/s5E-8
MASSIVE 模式最大进气口压力mbar1000
FINE 模式最大进气口压力mbar2
ULTRA 模式最大进气口压力mbar0.4
抽真空期间的抽气能力m³/h> 30 at 50 Hz
ULTRA 模式氦气抽气能力L/s4
可检测质量数
2,3,4 amu
质谱仪扇形场
180°
灯丝离子源铱/氧化钇涂层
2
内置校准漏孔mbar•L/se-7
测试端口DN 25 KF1
可调触发器

4

接口
2 x USB, Ethernet / LAN
允许的环境温度(操作过程中)°C+10.....+40
输入/输出
Via I/O 1000 module
保护类型
IP 20
重量120
尺寸(长x宽x高)mm1050x472x987
电源电压V (ac)100...240 V (+/-10% ) 50/60 Hz
功耗VATypical 700, max. 1500

零件号

Helium Leak Detector UL3000 Fab (PLUS)
零件号明细
550-200ULTRATEST UL3000 Fab
550-250ULTRATEST UL3000 Fab PLUS

附件

Helium Leak Detector UL3000 Fab (PLUS)
零件号明细
14005SL200,UL1000/5000/Modul1000 用吸枪探头,4 米长
525-0013米吸枪
525-0025米吸枪
525-003SL3000-10, sniffer line 10m length
551-005TC1000Test Chamber,DN25KF,ESD wrist band
551-010遥控器 RC1000C,有线,带 4 米卷线
551-015遥控器 RC1000WL,无线,包括无线发射机
551-201Helium Bottle Holder for UL3000 Fab
560-310I/O 1000 模块
560-335数据电缆(5 米)
560-340数据电缆(10 米)


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