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干式氦气检漏仪 UL5000

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干式氦气检漏仪 UL5000

  • 所属分类:氦气真空检漏仪

  • 点击次数:
  • 发布日期:2018/01/03
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详细介绍

干式氦气检漏仪 UL5000


ULTRATEST™ 传感器技术

 

检漏过程中可定义速度和精度

INFICON UL5000 氦气检漏仪设计用于满足最关键和最苛刻的检漏应用。通过在经现场验证的真空设计中采用 INFICON 专利软件算法 I-CAL 和 Hydro-S,UL5000 提供测试灵活性、高灵敏度和快速、精确的测量结果,使得所有检漏应用更迅速、容易。

 该 UL5000 在所有测量范围中提供快速响应时间,并提供极短的周期时间以达到测试条件和最终结果。特别设计的真空结构提供持续、较高的氦气抽气能力及极快的响应时间。

UL5000_Oben.png

功能

  • HYDRO-S(氢气抑制)可确保快速满足所有测试条件。

  • I-CAL(智能 - 泄漏率计算法)确保了在所有测量范围中提供快速泄漏响应。

  • 特殊的多入口涡轮分子泵可提供优化的较高氦气抽气能力及全压力范围内的高氦气压缩比,实现了卓越灵敏度、响应度和快速清洁性。

  • 增压涡轮分子泵可对所有测试对象做出极快响应,包括最大容量和腔室。

  • 经现场验证的 INFICON 扇形磁场质谱仪多年以来的精确、可重复结果实现了无故障、免维护的设计。

  • 自保护功能可防止 UL5000 受到氦气和微粒的污染,自动吹扫循环可确保 UL5000 的随时可用性。

  • 旋转式显示器/控制界面和可选配的手持遥控器实现了操作灵活性。

  • 装置和系统软件的访问控制可通过软件激活,防止未授权使用或测试设置的意外修改。

  • 通过电子邮件进行的软件更新可确保您的 UL5000 发挥最佳性能。

  • 具有最佳高度工作面的工作站设计以及 ESD 台垫和工具箱实现了测试便利性。

典型应用

  • 半导体和平板显示装置上使用的测漏部件、配件和大型腔室

  • 检漏半导体和平板工具

  • 检漏航空部件、配件和系统

  • 检漏储存容器/储存罐

规格

类型UL5000 Helium Leak Detector
氦气(真空模式)最低可检漏率mbar•L/s<5E-12
氦气(吸枪模式)最低可检漏率mbar•L/s8E-8
GROSS 模式最大进气口压力mbar15
FINE 模式最大进气口压力mbar2
ULTRA 模式最大进气口压力mbar0.4
抽真空期间的抽气能力m³/h25 at 50 Hz
GROSS 模式氦气抽气能力L/smax 8
FINE 模式氦气抽气能力L/smax 20
ULTRA 模式氦气抽气能力L/s>20
可检测质量数
2,3,4 amu
质谱仪扇形场
180 °C
灯丝离子源铱/氧化钇涂层
2
内置校准测试漏孔
E-7
测试端口
DN40KF
可调触发器
2
接口
RS232
图形记录器输出
2 x10 V
输入/输出
PLC compatible
允许的环境温度(操作过程中)°C+10...+40
保护类型
IP 20
重量140
尺寸(长x宽x高)1068x530x1083
电源电压230(+-10%)50Hz
功耗VA1100

零件号

UL5000 Helium Leak Detector
零件号明细
550-500AULTRATEST UL5000, 230V, 50Hz, EU
550-501AULTRATEST UL5000, 100/115V, 50/60Hz, US

附件

UL5000 Helium Leak Detector
零件号明细
14005SL200,UL1000/5000/Modul1000 用吸枪探头,4 米长
14022RC1000 extension cable, 8 m
14090LeakWare, PC SW for UL1000/UL5000
551-001Helium Bottle Holder for UL1000/5000
551-010遥控器 RC1000C,有线,带 4 米卷线
551-015遥控器 RC1000WL,无线,包括无线发射机
551-020RC1000WL 用无线发射机


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