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干式氦气检漏仪 UL1000 Fab

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干式氦气检漏仪 UL1000 Fab

  • 所属分类:氦气真空检漏仪

  • 点击次数:
  • 发布日期:2018/01/03
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详细介绍

干式氦气检漏仪 UL1000 Fab

ULTRATEST™ 传感器技术

 

稳定性和灵敏度的新疆界,

检漏低达 10 -12 atm/css

The INFICON UL1000 Fab 移动式氦气检漏仪特别设计用于满足半导体应用要求。凭借绝佳环境系统优先级中的简单使用性、检漏效率性和移动性,UL1000 Fab 在所有测量范围中提供极快的泄漏率响应。

通过结合较高氦气抽气能力和高进气口压力的最佳真空结构,UL1000 Fab 提供的前所未有的泄漏率低达 < 5x10-12 atm cc/s。专利软件 I-CAL(智能泄漏率计算法)让您忘记在低泄漏率范围检漏时较长反应时间的烦恼,因为 UL1000 Fab 能够对所有泄漏率范围做出快速响应。

使用额外的 TC1000 测试盒配件,UL1000 Fab 氦气检漏仪为密封部件提供简单、快速、精确的测试,如 IC 封装、石英晶体和激光器二极管(根据 MIL-STD 883,方法 1014)。

UL1000fab website.png

功能

  • 15 级的宽测量范围

  • 较短的抽气和响应时间

  • 移动式全金属外壳,增加了便利性,具有绝对可操作性

  • I-CAL 确保了在所有测量范围中提供最快的泄漏响应时间

  • 抑零功能和自动积分时间校正,可提供快速、可靠的测试结果

  • 含坚固耐用涡旋泵和多入口涡轮分子泵的智能型真空设计,提供较高氦气抽气能力和高压缩比

  • 旋转式显示器和用户界面允许简单、轻松控制装置以及与其进行交互

  • 自保护功能可防止 UL1000 Fab 氦气检漏仪受到氦气和微粒的污染

  • 自动吹扫循环可确保清理并随时可进行测试

  • 通过电子邮件进行软件更新

  • 含两个灯丝离子源(3 年质保)的耐用质谱系统确保了较长的运行时间和较低的维护成本

  • 内部校准用的内置测试漏孔确保了精确的测试结果

典型应用

  • 对半导体加工工具执行维护作业,无论是否具有自有泵支持

  • 需要较高抽气能力、高灵敏度和清洁测试条件的应用

  • 在现有工具中安装前对部件执行检漏

  • 工艺气体系统的检查和安装

  • 内置软件菜单“自动测漏”功能可使用 TC1000 测试盒执行密封组件的自动测试

规格

类型Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
氦气(真空模式)最低可检漏率mbar•L/s<5E-12
氦气(真空模式)最低可检漏率mbar•L/s<5E-12
氦气(吸枪模式)最低可检漏率mbar•L/s5E-8
MASSIVE 模式最大进气口压力mbar1000
GROSS 模式最大进气口压力mbar15
FINE 模式最大进气口压力mbar2
ULTRA 模式最大进气口压力mbar0.4
抽真空期间的抽气能力m³/h> 30 at 50 Hz
抽真空期间的抽气能力m³/h> 30 at 50 Hz
GROSS 模式氦气抽气能力L/smax. 8
FINE 模式氦气抽气能力L/s7
ULTRA 模式氦气抽气能力L/s2.5
ULTRA 模式氦气抽气能力L/s2.5
可检测质量数
2,3,4 amu
质谱仪扇形场
180°
灯丝离子源铱/氧化钇涂层
2
内置校准漏孔mbar•L/se-7
测试端口DN 25 KF1
可调触发器

2

接口
2 x USB, Ethernet / LAN
接口
2 x USB, Ethernet / LAN
图形记录器输出V2 x10
输入/输出
PLC compatible
输入/输出
Via I/O 1000 module
允许的环境温度(操作过程中)°C+10.....+40
保护类型
IP 20
重量120
重量120
重量120
尺寸(长x宽x高)mm1050x472x987
尺寸(长x宽x高)1050x472x987
电源电压V (ac)230 (+-10% )50Hz
电源电压V (ac)230 (+-10% )50Hz
电源电压V (ac)230 (+-10% )50Hz
电源电压V (ac)230 (+-10% )50Hz
功耗VA1100
功耗VA1100

零件号

Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
零件号明细
550-100AULTRATEST UL1000 Fab, 230 V, EU plug
550-101A56TRATEST UL1000 Fab, 100/115 V, US plug

附件

Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
零件号明细
14005SL200,UL1000/5000/Modul1000 用吸枪探头,4 米长
14022RC1000 extension cable, 8 m
14090LeakWare, PC SW for UL1000/UL5000
551-000Toolbox, detachable,for UL1000
551-001Helium Bottle Holder for UL1000/5000
551-002ESD Mat for UL1000/5000
551-005TC1000Test Chamber,DN25KF,ESD wrist band
551-010遥控器 RC1000C,有线,带 4 米卷线
551-015遥控器 RC1000WL,无线,包括无线发射机
551-020RC1000WL 用无线发射机


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