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VTR-151M/SRF (SCOTT-C3)

VTR-151M/SRF (SCOTT-C3)

  • 所属分类:高频溅射系统 (RFS/SCOTT系列)

  • 点击次数:
  • 发布日期:2018/01/01
  • 在线询价
详细介绍

VTR-151M/SRF (SCOTT-C3)

SCOTT系列/小型高频溅射装置




※图片为旧型

特 性是装载了RF电源的小型高周波溅射装置。因为可以为金属、半导体、绝缘物体成膜,所以最适合用于基础研究开发等实验。 应 用1.平行板射频磁控管2.主泵为涡轮分子泵3.所有测量计均安装于机架4.溅射速度30nm/min(SiO2),使用磁控溅射。5.底层交换,处理方便,从顶盖开启进行维护。6.可选反应式溅射

规格型号

型 号
VTR-151M/SRF (SCOTT-C3)
真空性能
极限压力
6.6 × 10-4Pa
排气时间
6.6 × 10-3Pa/5min
真空舱
真空舱
金属舱 (直径310.5mm × 160mm (H))
阴极
直径2inch, 3 电极
标准基板
直径2 英寸(直径.50.8mm) × t1mm
溅射有效区域
直径25mm
溅射速度
SiO2, 成膜速度大于 30nm/min
膜厚分布
SiO2, 在±10% 直径25mm
基板加热
最大 350 ℃
电极距离
50mm – 90mm (可变:半固定)
排气系统
主泵
涡轮分子泵 (250L/sec)
液氮冷阱
前级泵
油旋片真空泵 200L/min
油雾过滤器
油雾过滤器 OMT-200A
操作系统
主阀门
蝶阀
副阀门
三向切换阀
自动渗漏阀
可选
控制
手动控制
控制系统
射频电源
最大 300W (变量: 0 - 300W)
皮拉尼真空计
GP-1GRY
电离真空计
ISG1/SH2-1
外形
尺寸
1081mm(W)× 853mm(D)× 1104mm(H)
重量
400kg

条件

型 号
VTR-151M/SRF (SCOTT-C3)
电源需求单相, 200V, 3.5kVA
接地端子A级(接地抗阻/10Ω 或更低)
用水需求2.0L/min(水温:低于25℃、水压:200kPa)
附件(电源)
乙烯绝缘软电缆(R3.5-5帯端子) 4m
附件(接地)接地电缆(R5.5-8帯端子) 4m
附件(水)Rp1/4 (带"Kantouch"软管接头)
蒂托轮编织软管 (内径9mm×外径15mm) 4m(2根)

外形图

真空室内部构造

标准构造


[1]密封法兰[2]电极分隔[3]阴极[4]进气[5]观察孔[6]开闭器手把[7]开闭器[8]通风阀[9]测量计
取样托

[标准构造][特殊构造]
根据研究和开发的目的、可以变更。
可选部件
 导入气体(2、3 根)
 直流电源
 质量流量控制器
 4 英寸,1 电极
 基板加热600℃(水冷)
 油旋片真空泵用自动渗漏阀
 直线过滤器(管道连接类型油雾过滤器)OMI-200

可 选 部 件
有丰富的真空泵及真空设备的选项配件。


真空泵
真空泵油 (SMR-100 / MR-200 / SO-M / R-2 / R-7)油旋片真空泵的专用油
油雾过滤器 (OMT)用来防止从油旋片真空泵的排气口中流出油烟
直线过滤器 (OMI)用来防止从排气口中流出油烟以及用来连接排气管道
油雾过滤器接口用来变换真空泵排气口的螺丝直径
油雾分离器 (OMC)用来防止从耐腐蚀性油旋片真空泵的排气口中流出油烟
吸气口过滤器 (OFI)用来防止油反向扩散/粉状体和液状体混入
真空泵吸排气过滤器 (SGT)既可以设置在真空侧也可以设置在排气侧的过滤器
适配器用来变换真空泵吸气口的直径
橡胶真空软管真空泵与容器等连接用的管道
油旋片真空泵吸排气管用来变换真空泵吸气口及排气口的直径
波尔登压力计表示绝对压力的模拟真空计
设备
DEPOX (VFR / VWR / VTR / VTS) 真空镀膜机蒸发装置的定制商品
VPC-1100 高速真空镀膜机蒸发装置的定制商品
VPC-260F 真空镀膜机蒸发装置的定制商品
真空排气装置排气装置的定制商品

真空連接用零件
卡箍/中心环/无孔法兰/喷嘴/接管/ T型接头/ 十字接头/变径接头/KF 法兰/测量计接口/渗漏阀/VCR 接口/弯管真空泵与真空机器的管道零件


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