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小型真空镀膜装置 VTR-350M/ERH

小型真空镀膜装置 VTR-350M/ERH

  • 所属分类:真空镀膜机 (DEPOX系列)

  • 点击次数:
  • 发布日期:2018/01/01
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详细介绍

小型真空镀膜装置 VTR-350M/ERH

DEPOX系列/小型真空镀膜装置





特 性在管架上紧密安装了主泵、辅助泵、皮拉尼真空计、电离真空计、真空管、电力系统等必要机器的电阻加热式小型真空蒸发装置。DEPOX系列有不同排气系统构造的4个类型。使用简单,最适合用于基础研究开发等实验。 应 用1.金属与有机材料镀膜装置。2.真空排气设备的多种组合。3.强化安全性与可靠性。4.多层镀膜与同时镀膜(最大:4 层)还配有额外蒸发电源与电极。5.玻璃钟罩方便观察与维护。


规格参数

型 号
VTR-350M/ERH
真空性能
极限压力
4.0 × 10-4Pa
2.0 × 10-4Pa (使用液氮时)※1
排气时间
4.0 × 10-3Pa/10min 
3.0 × 10-3Pa/10min (使用液氮时)※1
真空舱
钟罩尺寸
玻璃钟罩 (直径300mm × 300mm(H))
馈通圈
12个端口(8侧面、4底面)
标准基板・最大尺寸 ※2
□50mm ・ □140mm(最大)
供电系统
蒸发电极结构
1点式
蒸发电源
SEREM “PSE-150C”、 0 – 10V 、150A (最大)
排气系统
主泵
涡轮分子泵(气冷) 345 L/sec
液氮冷阱
可选
前级泵
油旋片真空泵 200 L/min
油雾过滤器
油雾过滤器 OMI-200
操作系统
主阀门
蝶阀
副阀门
三向切换阀
自动渗漏阀
控制
手动控制
控制系统
皮拉尼真空计
GP-1G
电离真空计
GI-M2
外形
尺寸(主体)
730mm(W) × 584mm(D) × 1161mm(H)
尺寸(蒸发电源)
480mm(W) × 435.3mm(D) × 149mm(H)
重量(主体)
165kg
重量(蒸发电源)
40kg

※1 : LN2冷阱为选件。
※2 : 不考虑基板最大尺寸时的膜厚分布值。

条件

型 号
VTR-350M/ERH
电源需求
主体
单相, 100V, 1.4kVA
蒸发电源
单相, 200V, 1.5kVA
接地端子D级(接地抗阻/100Ω 或更低)
附件
主体 : 单相、100V
乙烯绝缘软电缆(R3.5-4帯端子) 4m
蒸发电源 : 单相、200V
乙烯绝缘软电缆(R2.0-5帯端子) 2m


外形图

VTR-350M/ERH


蒸发电源 SEREM
馈通圈
标准构造


根据研究和开发的目的、可以变更。
可 选 部 件
有丰富的真空泵及真空设备的选项配件。


真空泵
真空泵油 (SMR-100 / MR-200 / SO-M / R-2 / R-7)油旋片真空泵的专用油
油雾过滤器 (OMT)用来防止从油旋片真空泵的排气口中流出油烟
直线过滤器 (OMI)用来防止从排气口中流出油烟以及用来连接排气管道
油雾过滤器接口用来变换真空泵排气口的螺丝直径
油雾分离器 (OMC)用来防止从耐腐蚀性油旋片真空泵的排气口中流出油烟
吸气口过滤器 (OFI)用来防止油反向扩散/粉状体和液状体混入
真空泵吸排气过滤器 (SGT)既可以设置在真空侧也可以设置在排气侧的过滤器
适配器用来变换真空泵吸气口的直径
橡胶真空软管真空泵与容器等连接用的管道
油旋片真空泵吸排气管用来变换真空泵吸气口及排气口的直径
波尔登压力计表示绝对压力的模拟真空计
设备
DEPOX (VFR / VWR / VTR / VTS) 真空镀膜机蒸发装置的定制商品
VPC-1100 高速真空镀膜机蒸发装置的定制商品
VPC-260F 真空镀膜机蒸发装置的定制商品
真空排气装置排气装置的定制商品

真空連接用零件
卡箍/中心环/无孔法兰/喷嘴/接管/ T型接头/ 十字接头/变径接头/KF 法兰/测量计接口/渗漏阀/VCR 接口/弯管真空泵与真空机器的管道零件


相关标签:     真空镀膜机(DEPOX系列),小型真空镀膜装置VTR-350M/ERH价格,小型真空镀膜装置VTR-350M/ERH批发

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