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高速真空镀膜装置 VPC-1100

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高速真空镀膜装置 VPC-1100

  • 所属分类:真空镀膜机 (VPC系列)

  • 点击次数:
  • 发布日期:2018/01/01
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详细介绍

高速真空镀膜装置 VPC-1100

VPC系列/高速真空镀膜装置




特 性在管架上紧密安装了油扩散泵、油旋片真空泵、皮拉尼真空计、真空管、电力系统、压力测量口等必要机器,并且配备了钟罩升降装置,是电阻加热式高速型真空蒸发装置。使用与保养检修很简单,最适合用于大基板尺寸的基础研究开发等实验。 应 用・电子材料、半导体、太阳能电池的基础研发。・EL 有机层薄膜研发。

规格参数

型 号
VPC-1100
真空性能
极限压力
4.0 × 10-4Pa
1.3 × 10-4Pa (使用液氮时)
排气时间
4.0 × 10-3Pa/10min 
10-3Pa/10min (使用液氮时)
真空舱
钟罩尺寸
玻璃钟罩 (直径390mm × 350mm(H))
馈通圈
20个端口(14侧面、6底面)
标准基板・最大尺寸※1
□50mm ・ □220mm(最大)
供电系统
蒸发电极结构
3点式
蒸发电源
SEREM “PSE-150C”,0 – 10V ,150A (最大)
排气系统
主泵※2
油扩散泵(水冷) 1100 L/sec
液氮冷阱
前级泵
油旋片真空泵 100 L/min ×2
油雾过滤器
可选
操作系统
主阀门
瓣阀
副阀门
三向切换阀
自动渗漏阀
可选
控制
手动控制
控制系统
皮拉尼真空计
GP-1G
电离真空计
可选
外形
尺寸(主体)
1235mm(W) × 836mm(D) × 2155mm(H)
尺寸(蒸发电源)
安装在设备的主体
重量(主体)
313kg
重量(蒸发电源)
安装在设备的主体

※1: 不考虑基板最大尺寸时的膜厚分布值。
※2: 可以安装涡轮分子泵(TMP)。

条件

型 号
VPC-1100
电源需求
主体
三相, 200V, 5.0kVA
主体
单相, 100V, 1.0kVA
接地端子D级(接地抗阻/100Ω 或更低)
附件
主体 : 三相,200V
乙烯绝缘软电缆(R3.5-4帯端子) 4m
主体 : 单相,100V
乙烯绝缘软电缆(带插头) 4m
用水需求1.5L/min(水温:低于20-25℃,水压:200kPa)
附件Rp1/4 (带"Kantouch"软管接头)
推荐软管蒂托轮编织软管(内径9mm×外径15mm)

 冷却水管由客户自己准备。

外形图

VPC-1100
蒸发电源 SEREM
馈通圈
标准构造

[1]挡板[2]过滤器[3]备用(L)[4]备用 (S)[5]测压孔1[6]真空密封口3个[7]开闭器[8]电极COM[9]电极 1[10]电极 2[11]电极 3[12]支柱
根据研究和开发的目的、可以变更。
可 选 部 件
有丰富的真空泵及真空设备的选项配件。


真空泵
真空泵油 (SMR-100 / MR-200 / SO-M / R-2 / R-7)油旋片真空泵的专用油
油雾过滤器 (OMT)用来防止从油旋片真空泵的排气口中流出油烟
直线过滤器 (OMI)用来防止从排气口中流出油烟以及用来连接排气管道
油雾过滤器接口用来变换真空泵排气口的螺丝直径
油雾分离器 (OMC)用来防止从耐腐蚀性油旋片真空泵的排气口中流出油烟
吸气口过滤器 (OFI)用来防止油反向扩散/粉状体和液状体混入
真空泵吸排气过滤器 (SGT)既可以设置在真空侧也可以设置在排气侧的过滤器
适配器用来变换真空泵吸气口的直径
橡胶真空软管真空泵与容器等连接用的管道
油旋片真空泵吸排气管用来变换真空泵吸气口及排气口的直径
波尔登压力计表示绝对压力的模拟真空计
设备
DEPOX (VFR / VWR / VTR / VTS) 真空镀膜机蒸发装置的定制商品
VPC-1100 高速真空镀膜机蒸发装置的定制商品
VPC-260F 真空镀膜机蒸发装置的定制商品
真空排气装置排气装置的定制商品

真空連接用零件
卡箍/中心环/无孔法兰/喷嘴/接管/ T型接头/ 十字接头/变径接头/KF 法兰/测量计接口/渗漏阀/VCR 接口/弯管真空泵与真空机器的管道零件


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