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高速真空镀膜装置 VPC-1100
VPC系列/高速真空镀膜装置 |
特 性在管架上紧密安装了油扩散泵、油旋片真空泵、皮拉尼真空计、真空管、电力系统、压力测量口等必要机器,并且配备了钟罩升降装置,是电阻加热式高速型真空蒸发装置。使用与保养检修很简单,最适合用于大基板尺寸的基础研究开发等实验。 应 用・电子材料、半导体、太阳能电池的基础研发。・EL 有机层薄膜研发。 |
规格参数
型 号 | VPC-1100 | |
真空性能 | 极限压力 | 4.0 × 10-4Pa 1.3 × 10-4Pa (使用液氮时) |
排气时间 | 4.0 × 10-3Pa/10min 10-3Pa/10min (使用液氮时) | |
真空舱 | 钟罩尺寸 | 玻璃钟罩 (直径390mm × 350mm(H)) |
馈通圈 | 20个端口(14侧面、6底面) | |
标准基板・最大尺寸※1 | □50mm ・ □220mm(最大) | |
供电系统 | 蒸发电极结构 | 3点式 |
蒸发电源 | SEREM “PSE-150C”,0 – 10V ,150A (最大) | |
排气系统 | 主泵※2 | 油扩散泵(水冷) 1100 L/sec |
液氮冷阱 | 有 | |
前级泵 | 油旋片真空泵 100 L/min ×2 | |
油雾过滤器 | 可选 | |
操作系统 | 主阀门 | 瓣阀 |
副阀门 | 三向切换阀 | |
自动渗漏阀 | 可选 | |
控制 | 手动控制 | |
控制系统 | 皮拉尼真空计 | GP-1G |
电离真空计 | 可选 | |
外形 | 尺寸(主体) | 1235mm(W) × 836mm(D) × 2155mm(H) |
尺寸(蒸发电源) | 安装在设备的主体 | |
重量(主体) | 313kg | |
重量(蒸发电源) | 安装在设备的主体 |
※1: 不考虑基板最大尺寸时的膜厚分布值。
※2: 可以安装涡轮分子泵(TMP)。
条件
型 号 | VPC-1100 | |
电源需求 | 主体 | 三相, 200V, 5.0kVA |
主体 | 单相, 100V, 1.0kVA | |
接地端子 | D级(接地抗阻/100Ω 或更低) | |
附件 | 主体 : 三相,200V | 乙烯绝缘软电缆(R3.5-4帯端子) 4m |
主体 : 单相,100V | 乙烯绝缘软电缆(带插头) 4m | |
用水需求 | 1.5L/min(水温:低于20-25℃,水压:200kPa) | |
附件 | Rp1/4 (带"Kantouch"软管接头) | |
推荐软管※ | 蒂托轮编织软管(内径9mm×外径15mm) |
※ 冷却水管由客户自己准备。
外形图
VPC-1100 |
蒸发电源 SEREM |
馈通圈 |
标准构造 |
[1]挡板[2]过滤器[3]备用(L)[4]备用 (S)[5]测压孔1[6]真空密封口3个[7]开闭器[8]电极COM[9]电极 1[10]电极 2[11]电极 3[12]支柱 |
可 选 部 件 有丰富的真空泵及真空设备的选项配件。 |
真空泵 |
真空泵油 (SMR-100 / MR-200 / SO-M / R-2 / R-7) | 油旋片真空泵的专用油 |
油雾过滤器 (OMT) | 用来防止从油旋片真空泵的排气口中流出油烟 |
直线过滤器 (OMI) | 用来防止从排气口中流出油烟以及用来连接排气管道 |
油雾过滤器接口 | 用来变换真空泵排气口的螺丝直径 |
油雾分离器 (OMC) | 用来防止从耐腐蚀性油旋片真空泵的排气口中流出油烟 |
吸气口过滤器 (OFI) | 用来防止油反向扩散/粉状体和液状体混入 |
真空泵吸排气过滤器 (SGT) | 既可以设置在真空侧也可以设置在排气侧的过滤器 |
适配器 | 用来变换真空泵吸气口的直径 |
橡胶真空软管 | 真空泵与容器等连接用的管道 |
油旋片真空泵吸排气管 | 用来变换真空泵吸气口及排气口的直径 |
波尔登压力计 | 表示绝对压力的模拟真空计 |
设备 |
DEPOX (VFR / VWR / VTR / VTS) 真空镀膜机 | 蒸发装置的定制商品 |
VPC-1100 高速真空镀膜机 | 蒸发装置的定制商品 |
VPC-260F 真空镀膜机 | 蒸发装置的定制商品 |
真空排气装置 | 排气装置的定制商品 |
卡箍/中心环/无孔法兰/喷嘴/接管/ T型接头/ 十字接头/变径接头/KF 法兰/测量计接口/渗漏阀/VCR 接口/弯管 | 真空泵与真空机器的管道零件 |