vat真空阀门

产品分类

热门关键词

联系我们

昆山熙日机械设备有限公司

联系人: 张小姐

手机:(0)13913143077

联系人:李先生

手机:(0)15895662155

邮箱:kssunnyjx@126.com

QQ:1191890920

微信:kssunnyjx

网址:www.leybold-inficon.com

www.xiri-vacuum.com

办公地址:江苏省昆山市长江南路77号

维修地址:江苏省昆山市花桥镇星光工业园2A


爱德华edwarda 涡轮分子泵STP-XA4503C ISO320F 进气口

您的当前位置: 首 页 >> 产品中心 >> 分子泵

爱德华edwarda 涡轮分子泵STP-XA4503C ISO320F 进气口

  • 所属分类:分子泵

  • 点击次数:
  • 发布日期:2017/12/31
  • 在线询价
详细介绍

STP Maglev 真空分子涡轮泵  爱德华edwarda 涡轮分子泵STP-XA4503C ISO320F 进气口

为了实现始终如一的可靠性能 和零维护,您每次都可以依赖于 Edwards 的 STP Maglev 涡轮分子泵 来实现。

我们的第一套 STP Maglev 涡轮分子泵于 1983 年售出,现在已经在世界各地 安装了 130,000 多套。其中的 85% 都运行于半导体制程工具中, 表现出了卓越的性能级别和可靠性。  

对于需要长时间正常运行、无碳氢 化合物泵送、维护量少和低振动的应用, STP Maglev 涡轮分子泵是首选泵。转子通过磁力轴承实现完全 悬浮,因此,消除了转子与泵其余部分之间的 所有接触。除振动极低之外,消除接触 还意味着转子旋转时 不会发生轴承接触,也就无需对泵进行后续 维护。 

产品开发的每个设计阶段均 融合了节能技术,以确保降低 能耗和提升运行效率,同时不损害 质量和性能。

  • 提高了生产效率:
    更快抽空到基准压力

  • 体积紧凑: 
    节省空间并且易于安装

  • 低拥有 成本:
    低功耗和水电消耗

  • 免维护: 
    经济 

应用
产品系列
STP 控制器

製品概要

STP-XA4503C 磁力轴承涡轮分子泵具有很宽的制程范围(从高真空到高流量要求),对所有气体都具有更高的吞吐量。 
  
此泵基于新的设计,提供各种功能以改善热管理,从而增强在严苛制程中的性能,提高最大制程流能力,并减少腐蚀和沉积的影响。 
  
它设计成既可以处理温和的应用,也可以处理严苛的应用,例如刻蚀、注入、光刻和 FPD 制程。

yt670z040 - STP-XA4503C ISO320F 进气口

功能和优势

  • 先进的转子设计
    • 改进的氩气性能
    • 同类产品中抽速最高
    • 宽的制程范围
    • 在较低压力下具有较高的吞吐量
    • 免维护
    • 可用于严苛制程
  • 5 轴磁悬浮系统
    • 无污染
    • 低振动
    • 高度可靠
  • 经优化的温度分配
    • 低沉积
    • 内置冷却机械装置
    • 更高的气体吞吐量
    • 使用寿命延长
  • 认证
    • 符合国际安全标准
    • 列于 UL 中,具有 CE 标记,符合 SEMI® S2

技术数据

入口法兰尺寸VF300、ISO320F、VG350
前级抽气口尺寸KF40
抽速
  N23800 至 4300 ls-1

(取决于具体型号)
  H22500 ls-1
压缩比
  N2>108
  H26 x 103
极限压力10-7 Pa / 10-9 mbar
最大允许前级压力266 Pa / 2.66 mbar
最大允许气体流量 N2
(仅水冷却)
2800 sccm

4.73 Pam3s-1
最大允许气体流量 Ar
(仅水冷却)
2150 sccm

3.63 Pam3s-1
额定速度24000 rpm
运转到 90% 额定速度的时间12 分钟
固定位置任何方向
水冷却
  流量3 lmin-1
  温度5 – 25 °C / 41 – 77 °F
  压力0.3 MPa
推荐的吹扫气体流量 N250 sccm/8.4 x 10-2 Pam3s-1
输入电压200 – 240 ±10 % V 交流
最大输入功率(不带 TMS)1.5 KVA


相关标签:     分子泵,爱德华edwarda涡轮分子泵STP-XA4503CISO320F进气口价格,爱德华edwarda涡轮分子泵STP-XA4503CISO320F进气口批发

最近浏览:

在线客服
分享 一键分享