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爱德华edwards分子泵STP-iXR1606 ISO200F

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爱德华edwards分子泵STP-iXR1606 ISO200F

  • 所属分类:分子泵

  • 点击次数:
  • 发布日期:2017/12/31
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详细介绍

STP Maglev 真空分子涡轮泵  爱德华edwards分子泵STP-iXR1606 ISO200F

为了实现始终如一的可靠性能 和零维护,您每次都可以依赖于 Edwards 的 STP Maglev 涡轮分子泵 来实现。

我们的第一套 STP Maglev 涡轮分子泵于 1983 年售出,现在已经在世界各地 安装了 130,000 多套。其中的 85% 都运行于半导体制程工具中, 表现出了卓越的性能级别和可靠性。  

对于需要长时间正常运行、无碳氢 化合物泵送、维护量少和低振动的应用, STP Maglev 涡轮分子泵是首选泵。转子通过磁力轴承实现完全 悬浮,因此,消除了转子与泵其余部分之间的 所有接触。除振动极低之外,消除接触 还意味着转子旋转时 不会发生轴承接触,也就无需对泵进行后续 维护。 

产品开发的每个设计阶段均 融合了节能技术,以确保降低 能耗和提升运行效率,同时不损害 质量和性能。

  • 提高了生产效率:
    更快抽空到基准压力

  • 体积紧凑: 
    节省空间并且易于安装

  • 低拥有 成本:
    低功耗和水电消耗

  • 免维护: 
    经济 

应用
产品系列
STP 控制器

概述

STP-iXR1606 系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内领先的性能,机载控制装置中包含最新技术的小型电源供给。其设计理念与 STP-iXA2206/iXA3306 系列相同。 最新开发的革命性转子设计提高了抽取性能, 这一完全集成的产品易于安装且占地面积小,可作为所有应用工具的一体化解决方案。

应用

  • 玻璃涂层

  • 太阳能 PVD

  • 工业溅射


特性与优势

  • 泵和控制器之间不需要连接电缆。

  • 消除了传统架装式控制器的安装空间和成本。

  • 紧凑型设计使安装更加方便,占地面积更小。

  • 与 STP-A1603 配套时在 8” TMP 同类产品中抽速最高。

  • 使高气体流速领域的功耗降低了 32%。

  • 标配端口包括 I/O 远程、RS232C、RS485、STP-Link

  • 可选配 Profibus 和 DeviceNet

技术数据

入口法兰 VG150VG200/VG250

ISO160FISO200F/ISO250F

ICF203ICF253/ICF305
后备口KF40KF40
抽取速度

N21000 ls-11600 ls-1
H2800 ls-11200 ls-1
压缩比
N2>108
H21 x 103
极限压力10-7 Pa (10-9 Torr)
允许的前级压力266 Pa (2 Torr)
最大气流 N2(仅水冷)4700  sccm

(7.94 Pam3s-1)
最大气流 Ar(仅水冷)1800 sccm

(3.04 Pam3s-1)
额定速度36,500 rpm
启动时间8 min
固定位置任何方向
输入电压200 至 240 (± 10) V 交流
最大输入功率750 VA
重量48 kg


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