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为了实现始终如一的可靠性能 和零维护,您每次都可以依赖于 Edwards 的 STP Maglev 涡轮分子泵 来实现。
我们的第一套 STP Maglev 涡轮分子泵于 1983 年售出,现在已经在世界各地 安装了 130,000 多套。其中的 85% 都运行于半导体制程工具中, 表现出了卓越的性能级别和可靠性。
对于需要长时间正常运行、无碳氢 化合物泵送、维护量少和低振动的应用, STP Maglev 涡轮分子泵是首选泵。转子通过磁力轴承实现完全 悬浮,因此,消除了转子与泵其余部分之间的 所有接触。除振动极低之外,消除接触 还意味着转子旋转时 不会发生轴承接触,也就无需对泵进行后续 维护。
产品开发的每个设计阶段均 融合了节能技术,以确保降低 能耗和提升运行效率,同时不损害 质量和性能。
提高了生产效率:
更快抽空到基准压力
体积紧凑:
节省空间并且易于安装
低拥有 成本:
低功耗和水电消耗
免维护:
经济
平板显示器
我们丰富多样的 STP Maglev 涡轮分子泵旨在最大限度地提高基板吞吐量和最终零湿度制程条件,同时尽可能降低功耗、占地面积和重量。
LED
我们最新的 STP Maglev 涡轮分子泵产品系列是适用于大容量高流速应用的“一体化”低功耗紧凑型解决方案。
光电
我们的 STP Maglev 涡轮分子泵已进行优化,可满足客户的特定应用要求,同时具有卓越的制程气体处理能力、始终如一的性能的最高可靠性。
半导体加工
完全磁悬浮转子经过专门设计,降低了舱室污染并延长了维修间隔,使得 STP Maglev 涡轮分子泵成为您的制程工具的可靠之选。
先进的 高吞吐量系列
全新的“优势”系列 磁悬浮涡轮泵经过专门设计,可提供下一代 半导体蚀刻和 CVD 制程所需的最高吞吐量 级别。它们是以超可靠、高性能 H 系列产品 为基础,通过持续改进技术开发而成。 其先进的转子技术和 3D 叶片设计与一系列可供选择的 最佳材料相结合,因而能够在与现有的许多型号相同的 占用空间内创造出下一代高吞吐量涡轮泵。 该系列包含的泵具有 300 l/s 到 4500 l/s 的生产效率, 吞吐量高达 6 slm,并具有更高的 H2、N2 和 Ar 性能。
完全 集成的控制器和电源
这是真正的一体化涡轮泵 解决方案,具有出色的特性并可实现节省。 完全集成的控制器不再需要非集成控制器 通常所需的连接电缆和机架,有助于减小 占地面积,节省宝贵的工厂用地以及安装时间和 成本。此外,板载控制器包含一个小型电源, 与现有产品相比,它可在高气体流量下实现 大约 32% 的能耗降低。此系列产品的生产效率 为 300 l/s 到 4500 l/s,这意味着它是许多制程和应用的 理想选择。
超 高真空
超高真空系列 磁悬浮涡轮分子泵是供许多半导体、表面科学 或高能物理领域使用的首选泵。这种泵 具有无与伦比的可靠性、性能、清洁程度以及一流的 低振动级别。这些泵全部是直流供电,无需使用 电池,采用一个具有自动调节和先进诊断功能的 半机架控制器。该系列中泵的速度范围为 300 l/s 到 1000 l/s,极限压力小于 10-10 mbar(CF 法兰),另外 还有一个用于严苛制程的“C”型。
超 高真空低振动系列
超高真空低振动 型包含超高真空涡轮分子泵的所有特性, 另外还有一个内置隔振器,可提供超低振动 性能。
通过从我们的 SCU 控制器 系列中进行选择,选择正确的控制器以便与您的 STP Maglev 涡轮泵配合使用。
SCU-350 控制器
SCU-350 控制器是符合 EU-RoHS 标准 的控制器,适用于小型涡轮泵。它完全兼容 当前的控制器型号,但是低频范围下的抗振性 更好。它的输入电压也 较低,有助于降低电气容量和工具 功耗。SCU-350 的电噪抗扰度得到提高,并具有 通用电压功能,工作电源电压范围为 100-240 VAC, 无需进行切换。
SCU-800 控制器
SCU800 涡轮泵控制器是一种 完全数字化的控制器,对于中型泵具有卓越的兼容性。 新的 AVR(自动减振)技术可进一步降低 振动级别,而高级预维护调用功能可以提前通知 准确的维护时间。
SCU-XL800 控制器
完全数字化的 SCU-XL800 涡轮泵 控制器与 600 l/s 到 1300 l/s 范围内的 STP 涡轮泵 兼容。SCU-XL800 可降低 300 Hz 以下的振动级,这种级别的振动使用机械隔振器 很难消除。它使用数字信号处理器 (DSP) 技术, 可在整个频谱范围内实现亚毫微米的振动级。 此控制器适用于电子显微镜检查、度量学和光刻系统, 在这些系统中,低的振动对于应用至关重要。
SCU-1600 控制器
完全数字化的 SCU-1600 涡轮泵控制器与 2000 l/s 到 4500 l/s 范围内的 STP 涡轮泵兼容。它提供可靠性、增强的 通信功能以及泵的兼容性,减少了对后备装置的要求 并极大降低了总运行成本。
玻璃涂层
太阳能 PVD
工业溅射
特性与优势
泵和控制器之间不需要连接电缆。
消除了传统架装式控制器的安装空间和成本。
紧凑型设计使安装更加方便,占地面积更小。
与 STP-A1603 配套时在 8” TMP 同类产品中抽速最高。
使高气体流速领域的功耗降低了 32%。
标配端口包括 I/O 远程、RS232C、RS485、STP-Link
可选配 Profibus 和 DeviceNet
技术数据
入口法兰 | VG150 | VG200/VG250 |
ISO160F | ISO200F/ISO250F | |
ICF203 | ICF253/ICF305 | |
后备口 | KF40 | KF40 |
抽取速度 | ||
N2 | 1000 ls-1 | 1600 ls-1 |
H2 | 800 ls-1 | 1200 ls-1 |
压缩比 | |
N2 | >108 |
H2 | 1 x 103 |
极限压力 | 10-7 Pa (10-9 Torr) |
允许的前级压力 | 266 Pa (2 Torr) |
最大气流 N2(仅水冷) | 4700 sccm |
(7.94 Pam3s-1) | |
最大气流 Ar(仅水冷) | 1800 sccm |
(3.04 Pam3s-1) | |
额定速度 | 36,500 rpm |
启动时间 | 8 min |
固定位置 | 任何方向 |
输入电压 | 200 至 240 (± 10) V 交流 |
最大输入功率 | 750 VA |
重量 | 48 kg |