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爱德华edwards涡轮分子真空泵STP-iXA4506C ISO320F

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爱德华edwards涡轮分子真空泵STP-iXA4506C ISO320F

  • 所属分类:分子泵

  • 点击次数:
  • 发布日期:2017/12/31
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详细介绍

STP Maglev 真空分子涡轮泵 爱德华edwards涡轮分子真空泵STP-iXA4506C ISO320F

为了实现始终如一的可靠性能 和零维护,您每次都可以依赖于 Edwards 的 STP Maglev 涡轮分子泵 来实现。

我们的第一套 STP Maglev 涡轮分子泵于 1983 年售出,现在已经在世界各地 安装了 130,000 多套。其中的 85% 都运行于半导体制程工具中, 表现出了卓越的性能级别和可靠性。  

对于需要长时间正常运行、无碳氢 化合物泵送、维护量少和低振动的应用, STP Maglev 涡轮分子泵是首选泵。转子通过磁力轴承实现完全 悬浮,因此,消除了转子与泵其余部分之间的 所有接触。除振动极低之外,消除接触 还意味着转子旋转时 不会发生轴承接触,也就无需对泵进行后续 维护。 

产品开发的每个设计阶段均 融合了节能技术,以确保降低 能耗和提升运行效率,同时不损害 质量和性能。

  • 提高了生产效率:
    更快抽空到基准压力

  • 体积紧凑: 
    节省空间并且易于安装

  • 低拥有 成本:
    低功耗和水电消耗

  • 免维护: 
    经济 

应用
产品系列
STP 控制器

概述

Edwards STP-iXA4506 系列磁悬浮涡轮分子泵 (TMP) 使用最先进的技术,为如今具有挑战性的应用提供业内领先的性能、更好的气流能力和高温管理。

特性与优势

  • 由于采用全集成控制器和电源,不需要电缆和单独的

  • 控制器安装卡槽,从而使 TMP 组件具有成本效益且结构紧凑,能够快速简单地安装在狭小的空间。

  • 最大连续流量达 4300 sccm (N2),与 STP-XA4503 相比性能提高 50% 以上。

  • 使用最高 35 °C 的冷却水供应时,泵能够高效运转。

  • 提供了温度管理系统 (TMS) 装置,用于处理在过程中产生的副产品。

  • I/O 远程、RS232C、RS485、STP-Link 是标配端口。

  • UL 标记,CE 标记,符合 SEMI-S2 和 RoHS 标准。

技术数据

出口法兰
KF40
抽取速度

N2/H2升/秒
VG300
3800/2700
ISO320F
4000/2700
VG350
4300/2700
VG400
4300/2700
压缩比 N2/H2
>108 / 103
极限压力Pa (Torr)10-7(10-9)
允许的前级压力Pa (Torr)266(2)
最大气体流速 N2 *1
4300
(仅水冷却)(Pa m3/sec)(7.26)
最大气体流速 Ar *1
2600
(仅水冷却)(Pa m3/sec)(4.39)
额定速度rpm24,240
启动时间分钟11
固定位置
任何方向
输入电压V200-240
最大输入功率

不带 TMSVA1700
带 TMSVA2200
重量kg
VG300
109
ISO320F
111
VG350
104
VG400
111


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