vat真空阀门

产品分类

热门关键词

联系我们

昆山熙日机械设备有限公司

联系人: 张小姐

手机:(0)13913143077

联系人:李先生

手机:(0)15895662155

邮箱:kssunnyjx@126.com

QQ:1191890920

微信:kssunnyjx

网址:www.leybold-inficon.com

www.xiri-vacuum.com

办公地址:江苏省昆山市长江南路77号

维修地址:江苏省昆山市花桥镇星光工业园2A


爱德华edwards涡轮分子真空泵STP-iXA2206C ISO250F

您的当前位置: 首 页 >> 产品中心 >> 分子泵

爱德华edwards涡轮分子真空泵STP-iXA2206C ISO250F

  • 所属分类:分子泵

  • 点击次数:
  • 发布日期:2017/12/31
  • 在线询价
详细介绍

STP Maglev 真空分子涡轮泵  爱德华edwards涡轮分子真空泵STP-iXA2206C ISO250F

为了实现始终如一的可靠性能 和零维护,您每次都可以依赖于 Edwards 的 STP Maglev 涡轮分子泵 来实现。

我们的第一套 STP Maglev 涡轮分子泵于 1983 年售出,现在已经在世界各地 安装了 130,000 多套。其中的 85% 都运行于半导体制程工具中, 表现出了卓越的性能级别和可靠性。  

对于需要长时间正常运行、无碳氢 化合物泵送、维护量少和低振动的应用, STP Maglev 涡轮分子泵是首选泵。转子通过磁力轴承实现完全 悬浮,因此,消除了转子与泵其余部分之间的 所有接触。除振动极低之外,消除接触 还意味着转子旋转时 不会发生轴承接触,也就无需对泵进行后续 维护。 

产品开发的每个设计阶段均 融合了节能技术,以确保降低 能耗和提升运行效率,同时不损害 质量和性能。

EdwardsTurbo_STP-iXA2206C.jpg

  • 提高了生产效率:
    更快抽空到基准压力

  • 体积紧凑: 
    节省空间并且易于安装

  • 低拥有 成本:
    低功耗和水电消耗

  • 免维护: 
    经济 


应用
产品系列
STP 控制器

製品概要

STP-iXA2206 系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内领先的性能,可将小型电源供给集成到机载控制器内(成熟的 STP-iXA2205 系列的最新技术)。 该泵的高度等于 STP-A2203C 的高度,也等于 STP-iXA2205 系列(不带其电源供给 (iPS-1200))的高度。 这一完全集成的产品易于安装且占地面积小,可作为所有应用工具的一体化解决方案。

用途

  • 金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)

  • 电子回旋共振 (ECR) 刻蚀

  • 薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD

  • 溅射

  • 离子注入源,射束线泵送和站

特性与优势

  • 紧凑型设计,包括完全集成的控制器

  • 创新性自传感磁力轴承系统

  • 数字化 5 轴控制

  • 与现有涡轮泵相比振动级别降低了 50%

  • 可以配置为运行腐蚀性制程

技术数据

入口法兰尺寸ISO250F/VG250/ICF305
前级抽气口尺寸KF40
抽速 N2/Ar2200/1900 ls-1
压缩比 N2/H2>108 / 1 x 104
极限压力10-7 Pa (10-9 Torr)
允许的前级压力266  Pa (2 Torr)
最大气流 N2 *(仅水冷)3000 sccm

(5.07 Pam3s-1)
最大气流 Ar *(仅水冷)1400 sccm

(2.36 Pam3s-1)
额定速度27000 rpm
运转到 90% 额定速度的时间<8 分钟
固定位置任何方向
输入电压200-240 V
最大输入功率(不带 TMS)1200 VA
重量62 kg

* 最大气流适用于在 15-25 °C 之间的水冷却温度下连续泵送 N2 或 Ar 气体,并且使用前级泵(10,000 l/min 大小)的情况。 它会随条件变化而变化。


相关标签:     分子泵,爱德华edwards涡轮分子真空泵STP-iXA2206CISO250F价格,爱德华edwards涡轮分子真空泵STP-iXA2206CISO250F批发

最近浏览:

在线客服
分享 一键分享