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爱德华edwardsIXL高性能干式真空泵机组

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爱德华edwardsIXL高性能干式真空泵机组

  • 所属分类:半导体干泵

  • 点击次数:
  • 发布日期:2017/12/31
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详细介绍

爱德华edwards半导体干式真空泵iXL 高性能干式真空泵机组

iXL 系列干泵满足 平板显示器 (FPD)、半导体和太阳能制造市场 领域涉及的所有排气要求。

这些性能领先的 泵旨在最大限度地提高基板吞吐量,同时尽可能降低功耗、 占地面积和重量。此外,大修间隔期内无须 维护。


    

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适用于半导体和太阳能应用的小型 iXL 干泵
适用于严苛应用的大型 iXL 干泵
适用于 Applied Materials 制程平台的 IPUP

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