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爱德华edwards半导体iXH 干式工业级真空泵系统

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爱德华edwards半导体iXH 干式工业级真空泵系统

  • 所属分类:半导体干泵

  • 点击次数:
  • 发布日期:2017/12/31
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详细介绍

iXH 干式工业级真空泵系统

iXH 系列干泵产品是 Edwards 的市场领先 iH 产品的换代升级,为严苛制程能力 树立了新标准,它在世界上的许多 300mm 半导体和平板 工厂内通过提高制程可靠性实现低拥有成本。 

可满足 FPD、太阳能、 半导体和 LED 制造业中日益提高的气体流量要求的 完美大容量干泵和增压泵系列。 除了具有高峰值抽取速度外,这些泵还配备多种特性 以确保在严苛制程中具有最大可靠性。 

iXH 泵采用模块化设计,符合 当今的制程要求,并且对于前沿工厂中不断涌现的应用挑战 有着路线明确的应对计划。



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应用
主要特性和优势

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