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爱德华edwards半导体真空泵iH160 干式泵

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爱德华edwards半导体真空泵iH160 干式泵

  • 所属分类:半导体干泵

  • 点击次数:
  • 发布日期:2017/12/31
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详细介绍

iH 高真空干泵 爱德华edwards半导体真空泵iH160 干式泵

我们的 iH 干泵为高难度的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品) 提供高度可靠、成本低廉的泵解决方案。iH 系列 具有五级主泵,使用创新的悬臂式转子、爪式和罗茨 设计,可改善粉尘的处理,减少排气噪音。此外,iH 系列泵配有一台单级机械增压泵和完全 封闭的水冷却电机。

     

Standard_Body_Image_iH

应用
功能与优势

概述

Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照最高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时最大程度地减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性和性能。
  
iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。

应用

  • 负载锁

  • 输送

  • 计量

  • 平版印刷

  • PVD 制程

  • PVD 预清洁

  • RTA

  • 剥离/灰化

  • 刻蚀

  • 植入源

  • HDP CVD

  • RTP

  • SACVD

  • MCVD

  • PECVD

  • LPCVD

  • ALD


有关任何特定应用条件下 iH 系统稳定性的建议,请与 Edwards 联系。

功能和优势

  • 优化了设施消耗。

  • 无需预防性维护。

  • 悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。

  • 在节省电机功率的同时最大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。

  • 耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。

  • 较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。

  • 整体式轴杆无需使用电机联结器,而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积,从而降低了总体占地面积。

技术数据

峰值速度165 m3h-1

97 cfm

2750 l min-1
极限真空1 x 10-2 mbar

7.5 x 10-3 Torr

1 Pa
典型轴封氮流量4 slm
进气口连接ISO63
出口连接NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量120 l h-1

2 l min-1
重量244 kg
极限功率输入3.1 kW
电机额定功率5.0 kW
油容量0.85 l

  
所有数字均为无气镇时的典型值。


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