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爱德华edwards半导体干式真空泵iGX600L 干式泵

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爱德华edwards半导体干式真空泵iGX600L 干式泵

  • 所属分类:半导体干泵

  • 点击次数:
  • 发布日期:2017/12/31
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详细介绍

爱德华edwards半导体干式真空泵iGX600L 干式泵

概述

iGX 干式真空泵系列为大修之间零维护树立了新标准。效率提高的同时降低了运行成本,并在整个压力范围内保持连续一致的泵送能力。
  
iGX 干泵包括以太网连接功能,允许通过网页查看主要数据,另外还包括一套全面的网络选项,可确保泵持续运转。
  
iGX 泵的峰值速度范围很宽,并可以改变以适合各种应用条件,包括从清洁到中等负载的各种工艺。模块化设计允许用户对 iGX 干泵进行配置以适合各个工厂的要求。超紧凑的占地面积允许使用包括工具上、近程和远程在内的多种安装选项。

应用

  • 负载锁
  • 输送
  • 计量

功能和优势

  • 低运行成本
    • 与 iL/iH 干泵相比,设施成本最多可降低 50%
    • 无需预防性维护
  • 灵活的安装选项
    • 小巧轻便,便于安装
    • 工具上、近程或远程
  • 可以改进工具吞吐量
    • 可用的最快的负载锁定泵之一
  • 全程一致的泵送性能
    • 在 50 和 60 Hz 下抽速相同
  • 降低了环境噪音
    • 仅 55 dB(A)
  • 峰值速度范围宽
    • 100、300、600 和 800 m3h-1

技术数据

峰值速度620 m3h-1

365 cfm

10333 l min-1
极限压力7.00E-04 mbar

5.25E-04 Torr

0.07 Pa
700 Torr 排气压力下的极限
极限1.6 kW
AUC(有源设备控制器)0.05 kW
水入口*2 slm
0 slm
占地面积(不包括排气装置)0.20 m2
重量220 kg
进气口连接ISO100
出口连接NW25
极限噪音< 55 dB(A)

  
* 需要恒流阀附件。


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