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iGX 干式真空泵系列为 大修之间零维护现代干泵树立了新标准;这 使其成为了世界上最受欢迎的干泵之一,目前已在大多数 领先的 300mm 工厂中安装了 20,000 套以上。 iGX 系列包括 MicroTIM 工具 接口和以太网连接,允许通过网页查看 主要数据,同时包括一套全面的网络选项, 可确保泵持续运转。
iGX 泵的峰值速度范围 很宽,并可以改变以适合各种应用条件,包括从清洁 到中等负载制程。模块化设计允许用户对 iGX 干泵 进行配置以适合各个工厂的要求。紧凑的占地面积允许使用多种安装 选项,包括工具上、近程和远程操作。
通过使用 iGX 干泵技术, 整个工厂通常可以在设施成本方面实现 40%* 的节省 (与 iL/iH 干泵相比)。
*基 于包含 200 个工具、537 台泵/70% iGX 泵、30% iH 泵/ iGX 配有恒流水阀的 300mm 美国工厂。
目标应用包括:
客户也将 iGX 用于一系列 清洁和轻负载应用。
低功耗和零预防性维护,可降低拥有成本
小巧轻便,可使用灵活的 安装选项
高性能电机和变频器驱动装置
待机模式使用环保模式,功耗 更低
高导热性材料和 优良设计可实现低水流量和高效冷却 - 那又怎么样?
精密陶瓷轴承 可确保高负载容量,因而更加可靠
低振动和小于 55 dB(A) 的低噪声,可以安装在操作中同附近
PVD
电介质刻蚀
导体刻蚀
金属刻蚀
植入源
功能和优势
技术数据
峰值速度 | 105 m3h-1 |
62 cfm | |
1750 l min-1 | |
极限压力 | 5.00E-03 mbar |
3.75E-03 Torr | |
0.50 Pa | |
700 Torr 排气压力下的极限 | |
极限 | 1 kW |
AUC(有源设备控制器) | 0.05 kW |
水入口* | 1 slm |
氮 | 4 或 14 slm |
占地面积(不包括排气装置) | 0.20 m2 |
重量 | 120 kg |
进气口连接 | ISO63 |
出口连接 | NW25 |
极限噪音 | < 55 dB(A) |