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爱德华edwards半导体干泵iGX100L 干式泵

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爱德华edwards半导体干泵iGX100L 干式泵

  • 所属分类:半导体干泵

  • 点击次数:
  • 发布日期:2017/12/31
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详细介绍

iGX 干泵真空系统  爱德华edwards半导体干泵iGX100L 干式泵

iGX 干式真空泵系列为 大修之间零维护现代干泵树立了新标准;这 使其成为了世界上最受欢迎的干泵之一,目前已在大多数 领先的 300mm 工厂中安装了 20,000 套以上。 iGX 系列包括 MicroTIM 工具 接口和以太网连接,允许通过网页查看 主要数据,同时包括一套全面的网络选项, 可确保泵持续运转。 

iGX 泵的峰值速度范围 很宽,并可以改变以适合各种应用条件,包括从清洁 到中等负载制程。模块化设计允许用户对 iGX 干泵 进行配置以适合各个工厂的要求。紧凑的占地面积允许使用多种安装 选项,包括工具上、近程和远程操作。 

通过使用 iGX 干泵技术, 整个工厂通常可以在设施成本方面实现 40%* 的节省 (与 iL/iH 干泵相比)。   

*基 于包含 200 个工具、537 台泵/70% iGX 泵、30% iH 泵/ iGX 配有恒流水阀的 300mm 美国工厂。


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应用
主要特性和优势

概述

iGX 干式真空泵系列为大修之间零维护树立了新标准。效率提高的同时降低了运行成本,并在整个压力范围内保持连续一致的泵送能力。
  
iGX 干泵包括以太网连接功能,允许通过网页查看主要数据,另外还包括一套全面的网络选项,可确保泵持续运转。
  
iGX 泵的峰值速度范围很宽,并可以改变以适合各种应用条件,包括从清洁到中等负载的各种工艺。模块化设计允许用户对 iGX 干泵进行配置以适合各个工厂的要求。超紧凑的占地面积允许使用包括工具上、近程和远程在内的多种安装选项。

应用

  • 负载锁
  • 输送
  • 计量

功能和优势

  • 低运行成本
    • 与 iL/iH 干泵相比,设施成本最多可降低 50%
    • 无需预防性维护
  • 灵活的安装选项
    • 小巧轻便,便于安装
    • 工具上、近程或远程
  • 可以改进工具吞吐量
    • 可用的最快的负载锁定泵之一
  • 全程一致的泵送性能
    • 在 50 和 60 Hz 下抽速相同
  • 降低了环境噪音
    • 仅 55 dB(A)
  • 峰值速度范围宽
    • 100、300、600 和 800 m3h-1

技术数据


峰值速度105 m3h-1

62 cfm

1750 l min-1
极限压力5.00E-03 mbar

3.75E-03 Torr

0.50 Pa
700 Torr 排气压力下的极限
极限1 kW
AUC(有源设备控制器)0.05 kW
水入口*1 slm
0 slm
占地面积(不包括排气装置)0.20 m2
重量120 kg
进气口连接ISO63
出口连接NW25
极限噪音< 55 dB(A)

  
* 需要恒流阀附件。


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