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EPX 系列涵盖广泛的应用,从水处理到中度工作负载的制程。
EPX“L”系列旨在用于泵送惰性气体混合物(如负荷锁定)且通过制程机台接口提供控制的清洁工作应用。
紧凑的占地面积 – 作为可用的最小工具上泵之一,EPX 显著节省了占地面积。EPX 可以直接安装到工具上,从而节省了前级管道和安装成本,如果需要也可远程安装。
低运行成本 - EPX 仅需要 1.4 kW 的功率和整合空闲模式,从而可最大化功率效率。
独特的专利保护机械装置 – EPX 可以从大气压抽空到涡轮分子基准压力,并可以在所有进气口压力下连续工作。
超清洁机械装置 – 传统的高真空轴承底油脂使用油脂润滑,这可能成为制程工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承底油脂,并且不存在任何其他的潜在污染源。
非常可靠 – EPX 基于经过现场验证的 IPX 技术,具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10),大约每 5 年维修一次,最大程度地延长了泵的使用寿命。
可兼容的网络 - EPX 系列配有最终用户控制,可以连接到各种结构的网络,以进行诊断监视和控制。
技术数据
峰值速度 | 500 m3h-1 |
295 ft3min-1 | |
8338 lmin-1 | |
极限真空 | |
<1 x 10-6 mbar | |
<7 x 10-7 Torr | |
<1 x 10-4 Pa | |
预热时间(达到标称性能) | 30 分钟 |
入口法兰 | ISO160 |
出口法兰 | NW25 |
噪音 | <59 dB(A) |
最小冷却水流速 | 2 lmin-1 |
冷却水温度 | 15 – 35°C |
电源供给 | 200/208 V,50/60 Hz,3 相 |
极限功率 | 1.4 kW |
电机额定功率 | 3.0 kW |
TIM | C3 |
重量 | 45.2 kg |