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爱德华edwards半导体EPX500L 干泵

爱德华edwards半导体EPX500L 干泵

  • 所属分类:半导体干泵
  • 浏览次数:
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  • 发布时间:2017-12-31 12:31:42
  • 产品概述

爱德华edwards EPX500L 干泵 208V SPI TIM 3/8 水接头




概述

新的紧凑型 EPX500 高真空干泵的特性是:工作性能更佳,运行成本更低。EPX500 使用了独特的专利保护机械装置,能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。

模块化 EPX500 基于备受赞誉、大获成功的 IPX 系列,可提供卓越的性能,与 IPX 相比,包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。

应用

  • EPX 系列涵盖广泛的应用,从水处理到中度工作负载的制程。
      
    EPX“L”系列旨在用于泵送惰性气体混合物(如负荷锁定)且通过制程机台接口提供控制的清洁工作应用。

功能和优势

  • 紧凑的占地面积 – 作为可用的最小工具上泵之一,EPX 显著节省了占地面积。EPX 可以直接安装到工具上,从而节省了前级管道和安装成本,如果需要也可远程安装。

  • 低运行成本 - EPX 仅需要 1.4 kW 的功率和整合空闲模式,从而可最大化功率效率。

  • 独特的专利保护机械装置 – EPX 可以从大气压抽空到涡轮分子基准压力,并可以在所有进气口压力下连续工作。

  • 超清洁机械装置 – 传统的高真空轴承底油脂使用油脂润滑,这可能成为制程工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承底油脂,并且不存在任何其他的潜在污染源。

  • 非常可靠 – EPX 基于经过现场验证的 IPX 技术,具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10),大约每 5 年维修一次,最大程度地延长了泵的使用寿命。

  • 可兼容的网络 - EPX 系列配有最终用户控制,可以连接到各种结构的网络,以进行诊断监视和控制。


技术数据

峰值速度500 m3h-1

295 ft3min-1

8338 lmin-1
极限真空

<1 x 10-6 mbar

<7 x 10-7 Torr

<1 x 10-4 Pa
预热时间(达到标称性能)30 分钟
入口法兰ISO160
出口法兰NW25
噪音<59 dB(A)
最小冷却水流速2 lmin-1
冷却水温度15 – 35°C
电源供给200/208 V,50/60 Hz,3 相
极限功率1.4 kW
电机额定功率3.0 kW
TIMC3
重量45.2 kg


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