vat真空阀门

产品分类

热门关键词

联系我们

昆山熙日机械设备有限公司

联系人: 张小姐

手机:(0)13913143077

联系人:李先生

手机:(0)15895662155

邮箱:kssunnyjx@126.com

QQ:1191890920

微信:kssunnyjx

网址:www.leybold-inficon.com

www.xiri-vacuum.com

办公地址:江苏省昆山市长江南路77号

维修地址:江苏省昆山市花桥镇星光工业园2A


爱德华edwards半导体EPX180NE 干泵

您的当前位置: 首 页 >> 产品中心 >> 半导体干泵

爱德华edwards半导体EPX180NE 干泵

  • 所属分类:半导体干泵

  • 点击次数:
  • 发布日期:2017/12/30
  • 在线询价
详细介绍

EPX 工具上高真空泵  爱德华edwards半导体EPX180NE 干泵


Edwards EPX 高真空干泵以更轻、更小的包装提供工具上泵系统,而且只需 1.4 kW 的功率。EPX 系列泵使用独特的专利型单轴再生/Holweck® 分级机械装置,可以在从大气压到极限压力的应用中提供泵操作,而无制程污染的风险。

Ed_EPX180L_6132012_1.jpg

製品概要

新的紧凑型 EPX180 高真空干泵的特性是:工作性能更佳,运行成本更低。 EPX180 使用了独特的专利保护机械装置,能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。

EPX NE 系列的泵具有一个最终用户控制器 (EUC)。 通过最终用户控制器可以实现独立使用的本地控制,并能够连接到各种结构的网络,以进行远程控制和监视。

应用

  • 负载锁

  • 传输腔

  • PVD 溅射

  • 灰化/PR 剥离

  • 电介质刻蚀


EPX 系列涵盖广泛的应用,从水处理到中度工作负载的制程。

EPX“N”系列包括一个可提供氮清洗的气体模块,从而可将应用范围扩大为中等制程,在这类制程中预期存在的腐蚀性蒸汽和微粒的程度较低。

功能和优势

  • 紧凑的占地面积 – 作为可用的最小工具上泵之一,EPX 显著节省了占地面积。EPX 可以直接安装到工具上,从而节省了前级管道和安装成本,如果需要也可远程安装。

  • 低运行成本 - EPX 仅需要 1.4 kW 的功率和整合空闲模式,从而可最大化功率效率。

  • 独特的专利保护机械装置 – EPX 可以从大气压抽空到涡轮分子基准压力,并可以在所有进气口压力下连续工作。

  • 超清洁机械装置 – 传统的高真空轴承底油脂使用油脂润滑,这可能成为制程工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承底油脂,并且不存在任何其他的潜在污染源。

  • 非常可靠 – EPX 基于经过现场验证的 IPX 技术,具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10),大约每 5 年维修一次,最大程度地延长了泵的使用寿命。

  • 可兼容的网络 - EPX 系列配有最终用户控制,可以连接到各种结构的网络,以进行诊断监视和控制。

技术数据

峰值速度170 m3h-1

105 ft3min-1

2835 lmin-1
极限真空

<1 x 10-4 mbar

<7.5 x 10-5 Torr

<1 x 10-2 Pa
预热时间(达到标称性能)30 分钟
入口法兰ISO63
出口法兰NW25
噪音<59 dB(A)
最小冷却水流速2 lmin-1
冷却水温度15 – 35°C
氮气供给接口1/4 in (6.5 mm) 管
氮气供给压力3 x 105 – 7 x 105 Pa
最低氮纯度99.95%
电源供给400 V,50/60 Hz,3 相
极限功率1.4 kW
电机额定功率3.0 kW
TIM
重量43.5 kg


相关标签:     半导体干泵,爱德华edwards半导体EPX180NE干泵价格,爱德华edwards半导体EPX180NE干泵批发

最近浏览:

在线客服
分享 一键分享