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爱德华edwards AIGX-D 有源离子真空计

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爱德华edwards AIGX-D 有源离子真空计

  • 所属分类:真空计

  • 点击次数:
  • 发布日期:2017/12/30
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详细介绍

 

AIGX-D 有源离子真空计 

爱德华edwards有源离子真空计AIGX-D-NW25 D04860000



Edwards 有源离子真空计 (AIGX) 是紧凑型有源离子真空计,配备两根氧化钇覆膜的铱灯丝,测量范围极广,从 5 x 10-2 到 5 x 10-10Torr(6.6 x 10-2 到 6.6 x 10-10 mbar),并且提供 1 V/decade 线性输出。Edwards AIGX 具备行业标准的有源压力测量概念的所有优势,同时集成了电子器件和可更换的管件。该真空计拥有脱气装置,而且具备保护和延长灯丝使用寿命的功能。得益于极低的带电微粒辐射,AIGX 成为不能有背景噪声的制程的最佳选择。

AIGX 有源离子真空计


Edwards 有源离子真空计 (AIGX) 是紧凑型有源离子真空计,配备两根氧化钇覆膜的铱灯丝,测量范围极广,从 5 x 10-2 到 5 x 10-10 Torr(6.6 x 10-2 到 6.6 x 10-10 mbar),并且提供 1 V/decade 线性输出。Edwards AIGX 具备行业标准的有源压力测量概念的所有优势,同时集成了电子器件和可更换的管件。该真空计拥有脱气装置,而且具备保护和延长灯丝使用寿命的功能。得益于极低的带电微粒辐射,AIGX 成为不能有背景噪声的制程的最佳选择。



概述

紧凑型有源离子真空计配备两根氧化钇覆膜的铱灯丝,测量范围极广,从 6.6 x 10-2 到 6.6 x 10-10mbar(5 x 10-2 到 5 x 10-10 Torr),并且提供 1 V/decade 线性输出。
Edwards 的新型 AIGX 真空计具备行业标准的有源压力测量概念的所有优势,同时集成了电子器件和可更换的管件。该真空计拥有脱气装置,而且具备保护和延长灯丝使用寿命的功能。
得益于极低的带电微粒辐射,AIGX 成为不能有背景噪声的制程的最佳选择。

功能和优势

  • 全面的 8 decade 测量功能,可达 6.6 x 10-10 mbar (5 x 10-10 Torr)。

  • 有两种款型可用,每一种又有三种真空联轴器变型:

    • “D”型具有 9 针“D”接头盒标准接口;

  • 与主要竞争对手相比,带电粒子制程污染减少了 30%。

  • 自动防止在大气条件下启动灯丝以及在高压下运行或脱气。

  • 在整个测量范围内真空计灵敏度始终保持稳定,从而可以在更高压力下保持输出精度。

  • 在脱气过程中可以连续进行压力测量输出。

  • 创新性设计消除了 X 射线限制的影响。

  • 双色 LED 提供真空计状态的本地指示。

  • 输入电压范围宽。

  • 电子器件极易拆卸以进行最高达 200 °C 的加热。

技术数据

压力范围6.6 x 10-2 至 6.6 x 10-10 mbar

(5 x 10-2 至 5 x 10-10 Torr)
电源供给+14.5 至 +30.0 V 直流
功耗正常工作:7W(最大),

脱气:14W(最大)
输出信号线性,1 V / decade
响应时间1.33 x 10-8 mbar

(>10-8 Torr) ˜ 100 ms

1.33 x 10-8 mbar

(<10-8 Torr) ˜ 1-2 s
最大电压30 V(直流)
最大电流100 mA(最大)
工作环境干燥的非导电性大气
温度范围
工作温度0 至 +40 °C
存储温度-30 至 +70 °C
 
有关更多信息,请与 Edwards 联系。 



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