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德国普发真空pfeiffer vacuum高压气体分析仪HPA 220

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德国普发真空pfeiffer vacuum高压气体分析仪HPA 220

  • 所属分类:气体分析仪

  • 点击次数:
  • 发布日期:2017/12/17
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详细介绍

高压分析仪 HPA 220

德国普发真空pfeiffer vacuum高压气体分析仪HPA 220, 1-100 amu

在压力范围高达 50 hPa 下的气体分析

高压分析仪 HPA 220 是一个模块化、灵活实用的质谱仪系统,它带有一个干式涡轮分子泵组,可用于在压力高达 50 hPa 的真空中进行气体分析。

根据 HPA 220 的用途,有五种不同电动气动以及手动操作的进气口阀可供选择。

产品优势

  • 由于其 5 种手动、电动气动操作的进气口选择,使得它在压力高达 50 hPa 压下为分析、监测和控制过程提供了很大的灵活性。

  • 通过各种数字和模拟输入和输出,使系统集成方便而灵活。

  • 多重操作允许多个质谱仪 系统只用一台电脑进行数据评估。

  • 紧凑的尺寸实现灵活的集成。

应用

  • 在 1 · 10-7 至 50 hPa 的压力范围内进行真空工艺的分析、监测和控制

  • 真空镀膜系统的制造商和操作员

  • 半导体生产

  • 光刻

  • 冶金

  • 真空炉

  • 研发

HPA 220, 1-100 amu

高压分析仪——在 1-100 amu 范围内的气体分析

产品描述

  • 灵活性高,用于工艺分析、工艺监控、工艺检查的 5 个手动或电气动操作进气选项,最高 50 hpa

  • 由多样化的数字和模拟输入输出所带来的便捷灵活的系统集成

  • 多样化运行方式实现了通过一台 PC 即可进行多个质谱仪系统的数据分析

  • 适用于灵活性集成的紧凑尺寸

产品

HPA 220,用于压力最高 8 hPa 的操作压力,HPI 040 H,手动操作

概述
  • HPA 220,高压分析仪,测量范围 1-100 amu、115-230 V、50/60 Hz,适用于压力范围 8 hPa > p > 1 · 10-7 hPa 内的工艺及残余气体分析,组成:

  • 带四极电子装置 QME 220 的 PrismaPlus,带开放式离子源和两根铱长丝、氧化钇涂层的四极分析仪 QMA 200 M

  • 阀门界面 HPI 040 H,手动操作,连接法兰 DN 40 CF-F,带用于释放整个开口横截面的波纹管闸阀以进行高真空内的泄漏查找和残余气体分析,带用于将不同腔体压力进行压力匹配的交换式隔板的两个旁通阀,第三个隔板,0.03 mm,是提供的第三个隔板,0.03 mm,是提供的

  • 带电源件 TPS 311 和用于外部访问的远程接口的系统控制系统 BRU 220

  • 带 HiPace 80 和前级真空泵 MVP 020-3 DC 的涡轮分子泵设备

  • 总压测量管 PKR 251

  • 电缆组,3 米

  • 适用于 Windows 7, XP Professional (32 位)的 Quadera®软件,用于参数化 PrismaPlus 系统,以及记录、保存并说明测量数据

PT M51 110

技术参数
623-Valve interface with orifices Ø 0.1 mm und 0.3 mmHPI 040, 手动
供应115-230 V
分析仪QMA 220
前级泵MVP 020-3
四极控制QME 220 M
对 Ar 的灵敏度:C-SEM200 A/hPa
对 Ar 的灵敏度:法拉第3 · 10-4 A/hPa
探测器C-SEM/Faraday
杆系统:材料不锈钢
杆系统:直径6 毫米
杆系统:长度100 毫米
检测极限:C-SEM (hPa)1 · 10-14 百帕
检测极限:Faraday (hPa)1 · 10-11 百帕
涡轮泵带有 TC 110 RS 的 HiPace 80
电缆长度3 米
系统控制BRU 200
质量范围1 – 200 u
软件Quadera®
过程压力至8 百帕
连接法兰(入口)DN 40 CF-F
重量:分析仪 包括涡轮15 千克
尺寸

尺寸图-TIM-RS

  • B

  • 290 毫米

  • C

  • 380 毫米

  • D

  • 415 毫米


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