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真空泵系统设计的关键问题是选择真空抽气机组的主泵。
由二台或二台以上的真空泵及其他附件组合一个系统完成需要的达到真空度的目的就叫真空泵系统。
真空泵类型的确定
(1)根据真空室的容积大小和要求的抽气时间来选主泵。真空室体积大小对系统抽到极限真空的时间有影响。当抽气时间要求一定时,若真空室体积越大,则主泵抽速也越大。
(2)根据真空室进行工艺生产时所需要的工作压力选主泵。应正确地选择主泵的工作点,在其工作压力范围内,应能排除真空室内工艺过程中产生的全部气体量。因此,真空室内的工作压力一定要在主泵的最佳抽速压力范围之内。
(3)根据真空室所需要建立的极限压力确定主泵的类型。一般主泵极限压力的选取要比真空室的极限压力低半个到一个数量级。根据真空室的容积大小和要求的抽气时间来选主泵。