vat真空阀门

新闻分类

产品分类

联系我们

昆山熙日机械设备有限公司

联系人: 张小姐

手机:(0)13913143077

联系人:李先生

手机:(0)15895662155

邮箱:kssunnyjx@126.com

QQ:1191890920

微信:kssunnyjx

网址:www.leybold-inficon.com

www.xiri-vacuum.com

办公地址:江苏省昆山市长江南路77号

维修地址:江苏省昆山市花桥镇星光工业园2A


关于爱发科真空泵油的工作原理说明

您的当前位置: 首 页 >> 新闻中心 >> 公司新闻

关于爱发科真空泵油的工作原理说明

发布日期:2021-03-31 作者: 点击:

无油干式机械爱发科真空泵油(又简称干式机械泵)是指泵能从大气压力下开始抽气,又能将被抽气体直接排到大气中去,泵腔内无油或其他工作介质,而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。 爱发科ulvac真空计

爱发科ulvac真空计

目前,真空行业使用的大多数机械真空泵都是用爱发科真空泵油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质,在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大,原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题:一是泵的工作介质返流污染被抽容器;其次,由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质,使泵不能正常工作。

对于普通的无油真空系统爱发科真空泵油来说,虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流,但不能彻底解决问题,而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵,则可以达到理想的使用效果。 

爱发科真空泵油的应用是广泛的,主要有以下几个方面: 

1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中; 

2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒; 

3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求; 

4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵; 

5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。

本文网址:http://www.xiri-vacuum.com/news/350.html

相关标签:爱发科ulvac真空计

最近浏览:

在线客服
分享 一键分享